用于電子行業(yè)的創(chuàng)新氣動(dòng)產(chǎn)品

更小、更精確、更緊湊、功能更強(qiáng)大——產(chǎn)品小型化的發(fā)展趨勢(shì)對(duì)電子行業(yè)中應(yīng)用的氣動(dòng)產(chǎn)品提出了更高的要求。無(wú)論是在輕型安裝、半導(dǎo)體生產(chǎn)或電子設(shè)備的生產(chǎn)中，為滿足這一行業(yè)的特殊需要，F(xiàn)esto提供了多種氣缸、閥和附件，以保證在最小的空間內(nèi)提供最齊全的功能。

我們將分三個(gè)專題來(lái)介紹Festo氣動(dòng)產(chǎn)品在電子行業(yè)中的應(yīng)用。
輕型安裝
半導(dǎo)體
電子設(shè)備


《一》氣動(dòng)產(chǎn)品在輕型裝配中的應(yīng)用
-用氣動(dòng)產(chǎn)品進(jìn)行裝配和測(cè)試

小型的氣動(dòng)自動(dòng)化元件最適合用于那些制造和裝配小型電子設(shè)備的機(jī)器中。如手機(jī)、掌上電腦，電子記事本等。因?yàn)檫@些機(jī)器的空間非常狹小但單位面積的功能密集，而且有大量的裝配、抓取和測(cè)試工作要在其中進(jìn)行。

輕型安裝工業(yè)（LASSI）產(chǎn)品，今天已經(jīng)成為全球化生產(chǎn)技術(shù)的一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)化術(shù)語(yǔ)。這起源于一個(gè)由Finnish系統(tǒng)制造商和Finnish裝配工業(yè)為促進(jìn)工藝、專業(yè)技術(shù)和基礎(chǔ)設(shè)施發(fā)展所組織的項(xiàng)目。

《二》氣動(dòng)產(chǎn)品在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用
-前階段和后階段

半導(dǎo)體工業(yè)中的操作可分為前階段（薄片加工）和后階段（測(cè)試、裝配和包裝）。Festo為前階段提供了大量鋁制和不銹鋼氣缸及多種類型的閥。這些閥可用來(lái)控制氣缸，也可用來(lái)控制氣閥門(mén)。后階段的重點(diǎn)在于氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器和閥的小型化。Festo特別設(shè)計(jì)的小型滑塊驅(qū)動(dòng)器有多種直接安裝方式和連接件可供選用，因此具有很高的靈活性。智能型立方體閥系列結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，可以安裝在非常有限的空間里，能滿足半導(dǎo)體工業(yè)的需求。

-氣動(dòng)產(chǎn)品在太陽(yáng)能電池生產(chǎn)中的應(yīng)用

無(wú)論是采用晶體硅加工還是薄層技術(shù)，太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)都是高度自動(dòng)化的。Festo的氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器和閥能保證這種用于生產(chǎn)太陽(yáng)能電池的半成品晶片在傳送過(guò)程中無(wú)損傷，對(duì)大塊玻璃進(jìn)行操作時(shí)非常可靠，并且真空室能按要求緊閉。

在太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)中，氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器還用于控制用于高度敏感涂層操作的氣體或液體介質(zhì)的供應(yīng)。例如，真空閘門(mén)用來(lái)控制加工室中氣體的進(jìn)出，而蝶閥和球閥用來(lái)調(diào)節(jié)各種流體介質(zhì)的流量。

-保持清潔－非常簡(jiǎn)單！
尤其是在半導(dǎo)體行業(yè)中，許多生產(chǎn)步驟必須在無(wú)塵室條件下進(jìn)行。生產(chǎn)過(guò)程越敏感，所采用的生產(chǎn)方法就必須越能保持清潔！

-通過(guò)了測(cè)試，符合VDI標(biāo)準(zhǔn)
無(wú)塵室系統(tǒng)的清潔程度取決于各種因素，例如空氣質(zhì)量、空氣流量和現(xiàn)場(chǎng)的人員及設(shè)備等。以設(shè)備為例，系統(tǒng)采用氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器和閥，它們對(duì)生產(chǎn)車間的環(huán)境會(huì)產(chǎn)生很大的影響。針對(duì)這個(gè)問(wèn)題，F(xiàn)esto已經(jīng)專門(mén)開(kāi)發(fā)了一系列適用于無(wú)塵室技術(shù)的產(chǎn)品。這些產(chǎn)品已通過(guò)德國(guó)VDI 2083 標(biāo)準(zhǔn)的認(rèn)證，該標(biāo)準(zhǔn)對(duì)可在無(wú)塵室中使用的設(shè)備進(jìn)行了明確的規(guī)定。

《三》氣動(dòng)產(chǎn)品在電子設(shè)備生產(chǎn)中的應(yīng)用
-產(chǎn)品符合標(biāo)準(zhǔn)，質(zhì)量有保障
在許多電子設(shè)備的生產(chǎn)中，很多階段都要求其所使用的氣動(dòng)自動(dòng)化裝置有非常詳細(xì)的說(shuō)明書(shū)。比如陰極射線管的生產(chǎn)。為保證產(chǎn)品的質(zhì)量，該行業(yè)的供應(yīng)商必須確保在他們的產(chǎn)品中只使用符合規(guī)定的材料。

-不允許使用下列材料，因?yàn)樗鼈儠?huì)降低陰極射線管生產(chǎn)的可靠性和質(zhì)量：
聚四氟乙烯：會(huì)損壞陰極射線管，降低其使用壽命。
銅：會(huì)降低顯示屏顏色的質(zhì)量。在噴涂過(guò)程中嚴(yán)格禁止使用。
硅：對(duì)管子內(nèi)部涂層所需的均勻性造成很強(qiáng)的破壞作用。

為滿足陰極射線管生產(chǎn)企業(yè)的要求，F(xiàn)esto提供了一系列不含銅和聚四氟乙烯（CT-free）的產(chǎn)品。為了獲得持久的高質(zhì)量效果，在許多生產(chǎn)階段不能使用這兩種產(chǎn)品。

用于電子行業(yè)的氣動(dòng)產(chǎn)品：小巧、精確、快速和干凈

氣動(dòng)產(chǎn)品同樣可以為典型的裝配技術(shù)（如電子工業(yè)中的抓取應(yīng)用）提供近乎完美的解決方案。近幾年來(lái)，F(xiàn)esto針對(duì)這種類型的導(dǎo)向運(yùn)動(dòng)工序開(kāi)發(fā)了大量的氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器和導(dǎo)向裝置。新型的氣缸可在一個(gè)單元內(nèi)實(shí)現(xiàn)這兩種功能，從而簡(jiǎn)化了系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。為了控制這些驅(qū)動(dòng)裝置，F(xiàn)esto開(kāi)發(fā)了新的閥系列，智能型立方體閥CPV/CPA和MH1/MH2，以滿足電子行業(yè)和機(jī)電行業(yè)的需要。重點(diǎn)在于縮小產(chǎn)品體積以及與Festo小型驅(qū)動(dòng)器進(jìn)行精確連接。

《一》用于電子行業(yè)的驅(qū)動(dòng)器

以下是一系列適用于電子行業(yè)的氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器。

1.短行程氣缸ADVC
所需空間小，但功能強(qiáng)大，是已有產(chǎn)品的進(jìn)一步改進(jìn)。帶有傳感器槽。缸徑最小為4mm。

2.直線導(dǎo)向氣缸DFP
精密型氣缸，帶高精度導(dǎo)軌。采用標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)（直徑有25，32，40mm），并配有內(nèi)置導(dǎo)軌。結(jié)構(gòu)緊湊，使用壽命長(zhǎng)。缸徑最小為10mm。

3.微型氣缸EG
Festo公司最小的圓型氣缸。專為對(duì)精度要求很高的應(yīng)用場(chǎng)合所設(shè)計(jì)。缸徑最小為2.5mm，單作用氣缸。

4.螺紋氣缸EGZ
結(jié)構(gòu)小巧，外形美觀。采用螺紋擰入的安裝方式，操作簡(jiǎn)單。缸徑最小為6mm，單作用氣缸。

5.夾緊氣缸EV
最大的夾緊力，最小的高度：采用膜片式保護(hù)結(jié)構(gòu)，能迅速夾緊精密的或稍有不平的工件。缸徑最小為12mm。

6.扁平氣缸EZH
全球范圍內(nèi)扁平氣缸中最小的類型。單作用，結(jié)構(gòu)非常狹長(zhǎng)，寬度只有1.5-10mm。

7.小型直線導(dǎo)向氣缸DFC
小型氣缸，用于微型化的應(yīng)用場(chǎng)合，即空間有限的場(chǎng)合。由于將驅(qū)動(dòng)器和導(dǎo)軌集成，因此結(jié)構(gòu)緊湊，精度高?？蛇x用直接安裝方式。缸徑最小為4mm。

8.雙活塞氣缸DPZC
功能強(qiáng)大的導(dǎo)向裝置，結(jié)構(gòu)緊湊、堅(jiān)固，價(jià)格便宜。缸徑為6到16mm。是現(xiàn)有的最小雙活塞氣缸，導(dǎo)軌和驅(qū)動(dòng)器集成在一個(gè)單元內(nèi)。

9.無(wú)桿滑動(dòng)單元SLG
對(duì)空間的要求給出了新的定義：SLG――超扁平、快速、精度高?？芍苯舆M(jìn)行安裝，重量相當(dāng)輕。使門(mén)架應(yīng)用變得簡(jiǎn)單。缸徑最小為8mm。

10.小型滑塊驅(qū)動(dòng)器SLT , SLS , SLF
高精度，動(dòng)態(tài)性好的小型滑塊驅(qū)動(dòng)器系列：功能強(qiáng)大的SLT，結(jié)構(gòu)細(xì)長(zhǎng)的SLS以及扁平SLF。帶高效的終端緩沖裝置，有多種連接件可供選擇。缸徑最小為6mm。

11.擺動(dòng)氣缸DSM
靈活的擺動(dòng)裝置。結(jié)構(gòu)緊湊，設(shè)定時(shí)間更短。擺角的大小可調(diào)。帶可選的液壓緩沖器，實(shí)現(xiàn)高能量的緩沖。缸徑最小為6mm。

12.擺動(dòng)驅(qū)動(dòng)器DRQD
DRQD―功能強(qiáng)大的單元：更堅(jiān)固，更快速，結(jié)構(gòu)更緊湊。模塊化DRQD系統(tǒng)中有多種緩沖方式可供選擇：循環(huán)速度可比普通擺動(dòng)驅(qū)動(dòng)器大10倍或承載能力可增加10倍。缸徑最小為6mm。

13.帶行程補(bǔ)償?shù)奈⑿蛿[動(dòng)氣爪HGWM
當(dāng)需要對(duì)小型工件進(jìn)行操作時(shí)，HGWM是理想的選擇：外形緊湊，使用壽命長(zhǎng)，可達(dá)2百多萬(wàn)次的工作循環(huán)，應(yīng)用范圍很廣。

《二》用于電子行業(yè)的閥
以下是一系列適用于電子行業(yè)的閥。

1.Mini閥MH1
新一代的直動(dòng)式電磁閥?？捎米鲉蝹€(gè)板式閥，也可預(yù)先安裝在閥氣路板上。

2.緊湊型閥島CPV
節(jié)省空間。帶氣動(dòng)多針接頭，有多種安裝方式可供選擇。

3.緊湊型閥島CPA
模塊化閥島，具有很高的靈活性。閥與閥之間采用電氣連接方式，安裝相當(dāng)簡(jiǎn)單。

4.附件
壓力可控
為電子工業(yè)而專門(mén)設(shè)計(jì)：D系列微型氣源處理單元 , 它們具有最優(yōu)的尺寸和流量，可確保小型氣動(dòng)元件具有理想的氣源，從而贏得了廣大客戶的信賴。最新開(kāi)發(fā)的 SDE5壓力真空傳感器  可提供有關(guān)當(dāng)前壓力值的最直接信息。

5.抗靜電的管接頭
對(duì)電子設(shè)備進(jìn)行加工時(shí)，通常要求使用到的元件是由抗靜電的材料制成。Festo對(duì)氣動(dòng)系統(tǒng)中的靜電放電（ESD）進(jìn)行了分析。根據(jù)分析所得出的結(jié)果，開(kāi)發(fā)了能減少ESD影響的抗靜電元件。這種類型產(chǎn)品的實(shí)例是具有導(dǎo)電功能的管接頭（如QS-CM , QS-F  ）和氣管（如 PUN-CM ）。

6.真空元件
-有多種派生型可供選擇
Festo為您提供了性價(jià)比高、外形美觀和規(guī)格齊全的真空發(fā)生器系列－新型的 VN 系列 ，該系列能安全、無(wú)損壞地傳送小型敏感元件。簡(jiǎn)單但巧妙的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)使得發(fā)生器能安裝在加工現(xiàn)場(chǎng)附近，從而減少了真空的損失。該系列包括大量的真空吸盤(pán)和功能附件，如高度補(bǔ)償器，角度補(bǔ)償器，真空閥等，可以組成2000多個(gè)派生型。

-量身定制的解決方案
Festo為客戶提供量身定制的解決方案。為客戶定制的方案滿足了各個(gè)行業(yè)和應(yīng)用場(chǎng)合的需要。產(chǎn)品完全符合客戶的要求。

-專業(yè)技術(shù)
成功地實(shí)現(xiàn)知識(shí)轉(zhuǎn)化
Festo公司提供的不僅僅是產(chǎn)品。作為電子工業(yè)自動(dòng)化領(lǐng)域的專家，F(xiàn)esto經(jīng)驗(yàn)豐富，技術(shù)方面的知識(shí)淵博，可以為您提供技術(shù)支持。比如，F(xiàn)esto提供大量有關(guān)自動(dòng)化領(lǐng)域的培訓(xùn)課程；技術(shù)顧問(wèn)和我們的行業(yè)專家可有選擇地對(duì)客戶進(jìn)行訪問(wèn)。<br